沸石轉(zhuǎn)輪中VOCs殘留處理方法有哪些?由于VOCs在使用過程中在滾筒內(nèi)的殘留,會造成沸石轉(zhuǎn)輪劣化,處理效率降低,應如何避免和應對這樣的情況?
減少沸石轉(zhuǎn)輪內(nèi)VOCs殘留量,主要是通過改善VOCs廢氣的進氣質(zhì)量和提高脫附效率來實現(xiàn)的。
1.廢氣的預處理
煙氣預處理措施一般有除塵、除濕、除霧和高沸物去除等。根據(jù)所處理VOCs廢氣的實際情況,需要選擇合適的廢氣預處理措施。例如,半導體制造過程中對生產(chǎn)場所的微粒要求很高,而生產(chǎn)場所通常是潔凈車間。所以,有機廢氣中微粒含量很低,一般不需要進行除塵預處理。
2.在芯片制造過程中所用的主要有機原料一般都是低沸點,易揮發(fā)的,但也不排除有少量的高沸點物質(zhì),如脫液主成分二甘醇胺(沸程218~224℃)等。為避免VOCs廢氣中難脫附的高沸物進入沸石轉(zhuǎn)輪,可在高沸物處理工序中增加冷凝、前道活性炭吸附等預處理設(shè)備。
無錫碳投環(huán)境有限公司高沸點VOCs容易在進入排氣管后冷凝,從而增加了廢氣的濕度。如果有機廢氣的含水量在80%以上時進入沸石轉(zhuǎn)輪系統(tǒng),會對疏水沸石分子篩產(chǎn)生較大的影響。建議在高濕度廢氣中增設(shè)干燥除濕預處理裝置,使進入污水處理廠的廢氣濕度保持在穩(wěn)定可控范圍內(nèi)。